商品详情

产品特点

1. 光机电一体化设计，外形结构简单；

2. 扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强；

3. 精密激光检测及探针定位装置，光斑调节简单，操作方便；

4. 采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描；

5. 伺服马达手动或自动脉冲控制，驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域精确定位；

6. 高精度大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域；

7. 高精度大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同精度和扫描范围要求选择；

8. 采用伺服马达控制CCD对焦和光学放大；

9. 模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护；

10. 集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用。

软件特点

1. 可观测样品扫描时的表面形貌像、振幅像和相位像

2. 具备接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力或静电力工作模式

3. 多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图

4. 多种曲线力-间距（F-Z）、频率-RMS（f-RMS)、RMS-间隙（RMS-Z)测量功能

5. 可进行扫描区域偏移、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域

6. 激光光斑检测系统的实时调整功能

7. 针尖共振峰自动和手动搜索功能

8. 可任意定义扫描图像的色板功能

9. 支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能

10. 支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正

11. 支持样品图片离线分析与处理功能

1. 可观测样品扫描时的表面形貌像、振幅像和相位像

2. 具备接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力或静电力工作模式

3. 多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图

4. 多种曲线力-间距（F-Z）、频率-RMS（f-RMS)、RMS-间隙（RMS-Z)测量功能

5. 可进行扫描区域偏移、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域

6. 激光光斑检测系统的实时调整功能

7. 针尖共振峰自动和手动搜索功能

8. 可任意定义扫描图像的色板功能

9. 支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能

10. 支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正

11. 支持样品图片离线分析与处理功能

技术规格

名 称	参 数	名 称	参 数
工作模式	接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力或静电力	扫描角度	任意
样品尺寸	Φ≤90mm，H≤20mm	样品移动范围	0～20mm
最大扫描范围	横向50um，纵向5um	光学放大倍数	10X
扫描分辨率	横向0.2nm，纵向0.05nm	光学分辨率	1um
扫描速率	0.6Hz~4.34Hz	图像采样点	256×256，512×512
扫描控制	XY采用18-bit D/A Z采用16-bit D/A	反馈方式	DSP数字反馈
数据采样	14-bit A/D、双16-bit A/D 多路同步采样	反馈采样速率	64.0KHz
仪器重量体积	40KG，700´480´450mm	计算机接口	USB2.0
运行环境	运行于WindowsXP/7/8操作系统